Fabrication of porous silicon-based optical sensors using metal-assisted chemical etching
- Optical biosensors based on porous silicon were fabricated by metal assisted chemical etching. Thereby double layered porous silicon structures were obtained consisting of porous pillars with large pores on top of a porous silicon layer with smaller pores. These structures showed a similar sensing performance in comparison to electrochemically produced porous silicon interferometric sensors.
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| Verfasserangaben: | Claudia PacholskiORCiDGND, Vivechana AgarwalORCiD, Ruth Fabiola Balderas-ValadezGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:kobv:517-opus4-394426 |
| Schriftenreihe (Bandnummer): | Zweitveröffentlichungen der Universität Potsdam : Mathematisch-Naturwissenschaftliche Reihe (316) |
| Publikationstyp: | Postprint |
| Sprache: | Englisch |
| Datum der Erstveröffentlichung: | 17.02.2016 |
| Erscheinungsjahr: | 2016 |
| Veröffentlichende Institution: | Universität Potsdam |
| Datum der Freischaltung: | 30.03.2017 |
| Freies Schlagwort / Tag: | fourier-transform spectroscopy; nanostructures; nanowires |
| Seitenanzahl: | 5 |
| Erste Seite: | 21430 |
| Letzte Seite: | 21434 |
| Quelle: | RSC Adv. (2016) Nr. 6, 21430-21434. - DOI: 10.1039/C5RA26816H |
| Organisationseinheiten: | Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät / Institut für Chemie |
| DDC-Klassifikation: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 54 Chemie / 540 Chemie und zugeordnete Wissenschaften |
| Peer Review: | Referiert |
| Publikationsweg: | Open Access |
| Fördermittelquelle: | RSC |
| Lizenz (Englisch): |  Creative Commons - Namensnennung 3.0 Unported |
