X-ray grazing-incidence study of inhomogeneous strain relaxation in Si/SiGe wires
| Verfasserangaben: | Ullrich Pietsch, A. Hesse, Y. Zhuang, Vaclav Holý, Jochen Stangl, S. Zerlauth, F. Schaffler, Günther Bauer |
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| ISSN: | 0168-583X |
| Publikationstyp: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2003 |
| Erscheinungsjahr: | 2003 |
| Datum der Freischaltung: | 24.03.2017 |
| Quelle: | Nuclear instruments and methods in physics research : Section B, Beam interactions with materials and atoms. - ISSN 0168-583X. - 200 C (2003), S. 267 - 272 |
| Organisationseinheiten: | Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät / Institut für Physik und Astronomie |
| Peer Review: | Referiert |
| Name der Einrichtung zum Zeitpunkt der Publikation: | Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät / Institut für Physik |
