Atomic force microscopy nanolithography fabrication of metallic nano-slits using silicon nitride tips
- In this paper, we report on the properties of nano-slits created in metal thin films using atomic force microscope (AFM) nanolithography (AFM-NL). We demonstrate that instead of expensive diamond AFM tips, it is also possible to use low cost silicon nitride tips. It is shown that depending on the direction of scratching, nano-slits of different widths and depths can be fabricated at constant load force. We elucidate the reasons for this behavior and identify an optimal direction and load force for scratching a gold layer.
| Verfasserangaben: | Tobias König, Thomas Papke, Alexey KopyshevORCiDGND, Svetlana SanterORCiDGND |
|---|---|
| DOI: | https://doi.org/10.1007/s10853-013-7188-x |
| ISSN: | 0022-2461 |
| Titel des übergeordneten Werks (Englisch): | Journal of materials science |
| Verlag: | Springer |
| Verlagsort: | New York |
| Publikationstyp: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2013 |
| Erscheinungsjahr: | 2013 |
| Datum der Freischaltung: | 26.03.2017 |
| Band: | 48 |
| Ausgabe: | 10 |
| Seitenanzahl: | 7 |
| Erste Seite: | 3863 |
| Letzte Seite: | 3869 |
| Fördernde Institution: | DFG [SA1657/4-1] |
| Organisationseinheiten: | Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät / Institut für Physik und Astronomie |
| Peer Review: | Referiert |
