Nondestructive analysis of a lateral GaAs nanostructure buried under AlGaAs using conventional high resolution and grazing incidence X-ray diffraction
Verfasserangaben: | Nora Darowski, Ullrich Pietsch, Ute Zeimer, V. Smirnitzki, F. Bugge |
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Publikationstyp: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 1998 |
Erscheinungsjahr: | 1998 |
Datum der Freischaltung: | 24.03.2017 |
Quelle: | Journal of applied physics. - 84 (1998), 3, S. 1366 |
Organisationseinheiten: | Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät / Institut für Physik und Astronomie |
Name der Einrichtung zum Zeitpunkt der Publikation: | Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät / Institut für Physik |