Sensitivity analysis of ellipsometry applied to uniaxial optical films
Verfasserangaben: | C. Flueraru, Sigurd Schrader, V. Zauls, H. Motschmann |
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Publikationstyp: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2000 |
Erscheinungsjahr: | 2000 |
Datum der Freischaltung: | 24.03.2017 |
Quelle: | Thin solid films. - 379 (2000), 1/2, S. 15 - 22 |
Organisationseinheiten: | Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät / Institut für Physik und Astronomie |
Name der Einrichtung zum Zeitpunkt der Publikation: | Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät / Institut für Physik |