In-plane strain and shape analysis of Si/SiGe nanostructures by grazing incidence diffraction
| Verfasserangaben: | Y. Zhuang, Ullrich Pietsch, Jochen Stangl, Vaclav Holý, Nora Darowski, Jörg Grenzer, S. Zerlauth, F. Schäffler, Günther Bauer |
|---|---|
| Publikationstyp: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2000 |
| Erscheinungsjahr: | 2000 |
| Datum der Freischaltung: | 24.03.2017 |
| Quelle: | Physica / B. - 283 (2000), S. 130 - 134 |
| Organisationseinheiten: | Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät / Institut für Physik und Astronomie |
| Name der Einrichtung zum Zeitpunkt der Publikation: | Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät / Institut für Physik |
