In-plane strain and shape analysis of Si/SiGe nanostructures by grazing incidence diffraction
Verfasserangaben: | Y. Zhuang, Ullrich Pietsch, Jochen Stangl, Vaclav Holý, Nora Darowski, Jörg Grenzer, S. Zerlauth, F. Schäffler, Günther Bauer |
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Publikationstyp: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2000 |
Erscheinungsjahr: | 2000 |
Datum der Freischaltung: | 24.03.2017 |
Quelle: | Physica / B. - 283 (2000), S. 130 - 134 |
Organisationseinheiten: | Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät / Institut für Physik und Astronomie |
Name der Einrichtung zum Zeitpunkt der Publikation: | Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät / Institut für Physik |