Fabrication of porous silicon-based optical sensors using metal-assisted chemical etching
- Optical biosensors based on porous silicon were fabricated by metal assisted chemical etching. Thereby double layered porous silicon structures were obtained consisting of porous pillars with large pores on top of a porous silicon layer with smaller pores. These structures showed a similar sensing performance in comparison to electrochemically produced porous silicon interferometric sensors.
| Verfasserangaben: | Ruth Fabiola Balderas-ValadezGND, Vivechana AgarwalORCiD, Claudia PacholskiORCiDGND |
|---|---|
| DOI: | https://doi.org/10.1039/c5ra26816h |
| ISSN: | 2046-2069 |
| Titel des übergeordneten Werks (Englisch): | RSC Advances |
| Verlag: | Royal Society of Chemistry |
| Verlagsort: | Cambridge |
| Publikationstyp: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2016 |
| Erscheinungsjahr: | 2016 |
| Datum der Freischaltung: | 22.03.2020 |
| Band: | 6 |
| Seitenanzahl: | 5 |
| Erste Seite: | 21430 |
| Letzte Seite: | 21434 |
| Fördernde Institution: | CONACyT [188657, 329812]; Max Planck Society; BMBF (PhoNA) [03IS2101E] |
| Organisationseinheiten: | Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät / Institut für Chemie |
| Peer Review: | Referiert |
