TY  - JOUR
A1  - Bauer, J.
A1  - Schulz, Burkhard
A1  - Brehmer, Ludwig
A1  - Bötcher, M.
A1  - Jagdhold, U.
A1  - Höppner, K.
A1  - Kulesch, A.
A1  - Dietzel, Birgit
T1  - Anwendung von Langmuir-Blodgett-Schichten als Resist für die Niederspannungs-Elektronenstrahl-Lithografie
Y1  - 1995
ER  -