TY - JOUR A1 - Baumbach, Tilo A1 - Lübbert, Daniel A1 - Pietsch, Uwe A1 - Darowski, Nora A1 - Leprince, L. A1 - Talneau, A. A1 - Schneck, J. T1 - Grazing incidence diffraction by epitaxial multilayered gratings Y1 - 1998 ER -