@article{BauerSchulzBrehmeretal.1995,
  author    = {Bauer, J. and Schulz, Burkhard and Brehmer, Ludwig and B{\"o}tcher, M. and Jagdhold, U. and H{\"o}ppner, K. and Kulesch, A. and Dietzel, Birgit},
  title     = {Anwendung von Langmuir-Blodgett-Schichten als Resist f{\"u}r die Niederspannungs-Elektronenstrahl-Lithografie},
  year      = {1995},
  language  = {de}
}