@article{DarowskiPaschkePietschetal.1998, author = {Darowski, Nora and Paschke, K. and Pietsch, Ullrich and Wang, K. H. and Forchel, Alfred and L{\"u}bbert, Daniel and Baumbach, Tilo}, title = {Structural characterization of a GaAs surface wire structure by triple-axis X-ray grazing incidence diffraction}, year = {1998}, language = {en} } @article{ZhuangHolyStangletal.1999, author = {Zhuang, Y. and Hol{\´y}, V{\´a}clav and Stangl, Jochen and Darhuber, A. and Mikulik, P. and Zerlauth, S. and Sch{\"a}ffler, F. and Bauer, G{\"u}nther and Darowski, Nora and L{\"u}bbert, Daniel and Pietsch, Ullrich}, title = {Strain relaxation in periodic arrays of Si/SiGe quantum wires determined by coplanar high-resolution x-ray diffrcation and grazing-incidence diffraction}, year = {1999}, language = {en} } @article{LuebbertBaumbachPontietal.1999, author = {L{\"u}bbert, Daniel and Baumbach, Tilo and Ponti, S. and Pietsch, Ullrich and Leprince, L. and Schneck, J. and Talneau, A.}, title = {Strain investigation of low strained buried gratings by grazing incidence X-Ray diffraction and the theory of elasticity}, year = {1999}, language = {en} } @phdthesis{Luebbert1999, author = {L{\"u}bbert, Daniel}, title = {Strain and lattice distortion in semiconductor structures : a synchrotron radiation study}, url = {http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:517-0000195}, school = {Universit{\"a}t Potsdam}, year = {1999}, abstract = {Die Arbeit stellt neu entwickelte R{\"o}ntgenbeugungsmethoden vor, mit deren Hilfe der Verzerrungszustand des Kristallgitters von Halbleiter-Wafern und -Bauteilen im Detail charakterisiert werden kann. Hierzu werden die aussergew{\"o}hnlichen Eigenschaften der an modernen Synchrotrons wie der ESRF (Grenoble) verf{\"u}gbaren R{\"o}ntgenstrahlung genutzt. Im ersten Teil der Arbeit werden R{\"o}ntgen-Diffraktometrie und -Topographie zu einer Untersuchungsmethode kombiniert, mit der die makroskopische Kr{\"u}mmung von Halbleiter-Wafern ebenso wie ihre mikroskopische Defektstruktur abgebildet werden kann. Der zweite Teil ist der Untersuchung von epitaktisch gewachsenen und ge{\"a}tzten Oberfl{\"a}chengittern mit Abmessungen im Submikrometer-Bereich gewidmet. Die unterschiedlichen Gitterkonstanten der beteiligten Halbleitermaterialien f{\"u}hren zu einem inhomogenen Verzerrungsfeld in der Probe, das sich im R{\"o}ntgenbild durch eine charakteristische Verformung des Beugungsmusters in der Umgebung der Bragg-Reflexe {\"a}ussert. Die Analyse der experimentell gemessenen Beugungsmuster geschieht mit Hilfe eines neu entwickelten Simulationsverfahrens, das Elastizit{\"a}tstheorie und eine semi-kinematische R{\"o}ntgenbeugungstheorie miteinander verbindet. Durch quantitativen Vergleich der Simulationsergebnisse mit den Messdaten kann auf den genauen Verlauf des Verzerrungsfeldes in den Proben zur{\"u}ckgeschlossen werden. Dieses Verfahren wird erfolgreich auf verschiedene Halbleiter-Probensysteme angewendet, und schliesslich auch auf die Untersuchung von akustischen Oberfl{\"a}chenwellen in Halbleiterkristallen {\"u}bertragen.}, subject = {Halbleiter / Kristallgitter / Verzerrung / R{\"o}ntgenbeugung / Synchrotronstrahlung}, language = {de} } @article{HolyStanglZerlauthetal.1999, author = {Hol{\´y}, V{\´a}clav and Stangl, Jochen and Zerlauth, S. and Bauer, G{\"u}nther and Darowski, Nora and L{\"u}bbert, Daniel and Pietsch, Ullrich}, title = {Lateral arrangement of self-assembled quantum dots in an SiGe/Si superlattice}, year = {1999}, language = {en} } @article{ZeimerBaumbachGrenzeretal.1999, author = {Zeimer, Ute and Baumbach, Tilo and Grenzer, J{\"o}rg and L{\"u}bbert, Daniel and Mazuelas, A. and Pietsch, Ullrich and Erbert, G.}, title = {In-situ characterization of strain distribution in broad-area high-power lasers under operation by high- resolution x-ray diffrcation and topography using synchrotron radiation}, year = {1999}, language = {en} } @article{DarowskiLuebbertPietschetal.1998, author = {Darowski, Nora and L{\"u}bbert, Daniel and Pietsch, Ullrich and Zhuang, Y. and Zerlauth, S. and Bauer, G{\"u}nther}, title = {In-plane strain and strain relaxation in laterally patterned Si/SiGe quantum dots and wire arrays}, year = {1998}, language = {en} } @article{HolyDarhuberStangletal.1999, author = {Hol{\´y}, V{\´a}clav and Darhuber, A. and Stangl, Jochen and Zerlauth, S. and Sch{\"a}ffler, F. and Bauer, G{\"u}nther and Darowski, Nora and L{\"u}bbert, Daniel and Pietsch, Ullrich and Vavra, I.}, title = {HRXRD and GID investigations of a self-organized SiGe quantum dot multilayer}, year = {1999}, language = {en} } @article{BaumbachLuebbertPietschetal.1998, author = {Baumbach, Tilo and L{\"u}bbert, Daniel and Pietsch, Uwe and Darowski, Nora and Leprince, L. and Talneau, A. and Schneck, J.}, title = {Grazing incidence diffraction by epitaxial multilayered gratings}, year = {1998}, language = {en} }