@article{BauerSchulzBrehmeretal.1995,
  author    = {J. Bauer and Burkhard Schulz and Ludwig Brehmer and M. B{\"o}tcher and U. Jagdhold and K. H{\"o}ppner and A. Kulesch and Birgit Dietzel},
  title     = {Anwendung von Langmuir-Blodgett-Schichten als Resist f{\"u}r die Niederspannungs-Elektronenstrahl-Lithografie},
  year      = {1995},
}